气体质量流量控制器在燃烧测试设备方面的使用!
随着国家提出来产业升级,提升制造水平,现在国内很多行业对于自动化设备需求量大增,其中气体流量的自动化控制也是进步很快的一个行业,以前都是用***简单(可以说是原始)方式来实现,但现在这以是往事,如果想在这个行业内有一定足之地,只有不改进工作方式,对于微小气体流量控制主要方法就是使用气体质量流量控制器,可以实现自动化控制同自动化设备配合,实现真正的自动化。
其中燃烧测试设备的发展就是这个行业内的一员,以前行业都是使用简单的方式来实现,但现在为达到使用的高要求,质量流量控制器就是一个不错的选择,产品具有精度高、 重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
本次试验是使用气体质量流量控制器产品,使用的具体参数如下:
功能流量计/控制器
基本型号YJ-700
满量程流量范围(N2)SCCM
SLM10
精度(%F.S)±1(≤15SLM)
控制阀动作型式常闭式
线性(%F.S.)±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.)±0.2
响应时间(sec)≤1
流量输出信号0-+5V,4-20MA
流量设定信号0-+5V,4-20MA
电器接头DB15 pin(接头),DB14 pin(接头),DB9 pin(接头)
工作环境温度(℃)5~45
工作压差(MPa)0.05~0.5
漏率SCCSHe1×10-9
******耐压3MPa,10MPa
介质接触材质304,316,316L
密封材料氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,金属密封
接头尺寸VCR 1/4”,1/2”
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求+15V,50mA;-15V,200mA
重量1.2KG
注意系统设计
用户购买MFM/MFC后,往往要组建一个系统。建议在系统设计时,不要仅仅考虑功能的实现,还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议:
A.对于反应系统,建议在气体质量流量控制器的出气端加装单向阀,以防止异常情况下反应物倒流损坏质量流量控制器。
B.对于高压系统,应在气体质量流量控制器的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表,以便于保证气体质量流量控制器的工作压差。
C.注意加装过滤器,以净化气源,延长质量流量控制器的使用寿命。
D.对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体,应特别注意系统的密闭性(检漏时不要忽视减压器),必要时设计吹洗旁路,随时进行氮气吹洗或正压保持。
E.有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题,例如采用单点接地。
F.对于高真空系统,注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。
G.质量流量控制器的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零,并安全可靠。
H.对可靠性要求极高的系统,应注意冗余设计。
(3)注意正确使用操作
对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统,应当建立自己的操作规程。
(4)注意轻拿轻放妥善保管
质量流量控制器非常精密,应避免受到撞击和振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。
(5)注意定期标定
原则上应当定期标定。
(6)注意使用气体与流量计的密封材料相适应
质量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡胶,能适合大多数气体的使用,包括HCL这样的强腐蚀性气体。但对于氨气,必须使用耐氨橡胶;对于有机溶剂类气体,如丙酮、甲苯等,必须使用硅橡胶;对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质,必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。
(7)注意保证质量流量控制器的工作压差
即保证质量流量控制器进气端和出气端的压力差在其指标范围之内。常压系统好保证,一般只要使用减压器即可;高压系统中一般要通过减压器和背压阀的结合使用来保证。
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