质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。那你知道关于质量流量控制器的常见问题有哪些吗？
什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?
一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候,用质量流量计;当定流测压时,需要用质量流量控制器。注意,当质量流量控制器处于清洗状态时,也可以当质量流量计使用,只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
质量流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小,要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1是要选择耐压符合要求的MFC;第二,是要挑选工作压差范围大的产品型号;第三,要在MFC气路前面加减压阀,稳定入口气压,在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压,适当调节减压阀和背压阀,要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点,MFC就能够在高压条件下稳定工作。
