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为什么新买的产品,无法控制?

为什么新买的产品,无法控制?

来源:
发布时间:
2022/09/16 15:10:37
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北京某高校,新购买的质量流量控制器AST10-DBCMX,满量程100SLM,设定20SLM以下,有反馈值、有气体流出,在大于20SLM时,无气体流出。

 

排查过程

 

1、现场将MFC出气口排空,使用我司AST10-DBCMX控制,进气口压力调整为0.3Mpa,观察现象:没有好转,和上面现象一致,排除是设备系统原因。

2、使用万用表测量传感器电阻,没有问题;阀电压也正常,排除MFC传感器故障。

3、将MFC从气路当中拆卸下来,将MFC分解,发现在通道、接口和阀门处都有污染物,同现场工程师确认,气源到MFC的距离较远,判断是气路不干净造成的污染。

 

找到问题

 

气路污染。

 

解决办法

 

大气量吹扫管道或者在MFC前端加一个过滤装置。

 

关键知识点

 

1、防止污染的有效方法首先要保证气源的纯净和干燥,同时要保证管路密封良好。

 

2、建议加装过滤器和干燥器。

 

3、使用腐蚀性气体之后要用惰性气体吹扫,防止腐蚀性气体存留。

 

4、为了保养流量计可以在管路设计时候考虑旁路吹扫等。 流量计保养还要注意定期校准。

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