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气体质量流量计
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气体质量流量计

型 号：AST10-ALM　　 产品介绍：AST10-ALM模拟型质量流量计由质量流量传感器，层流分层件和放大控制电路组成。量程范围广，从5SCCM~30SLM可任意选择。
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产品描述
产品参数
产品选型

　　产品介绍

　　AST10-ALM模拟型质量流量计由质量流量传感器，层流分层件和放大控制电路组成。量程范围广，从5SCCM～30SLM可任意选择。

    产品概述

　　◆热式原理，响应快，精度高

　　◆管状分流，不易堵塞

　　◆适用于各种低压和高压管道

　　◆预热时间短，零漂小，可靠性高

　　◆模拟量输出可使用二次仪表显示瞬时流量和累计流量

　　AST10-ALM采用毛细管传热前后温度差量热式原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后以电压/电流的方式进行输出。

　　产品应用

真空镀膜 半导体 太阳能 石油石化 环保
制气配气 氢燃料 煤炭冶金 各种分析仪器 

 

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产品参数

量程范围

5SCCM～30SLM

准确度

±1.0%F.S

线性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

<1.0s

模拟量

0～5V、4～20mA

供电

±15VDC、24VDC

工作温度

0～50℃

工作压力

工作压降：<0.01MPa

最大耐压

3MPa/10MPa

电气连接

DB15孔、DB9针

漏率

1×10-9SCCSHe

温度系数

±0.015%F.S/℃

底座材质

不锈钢

密封材质

氟橡胶，三元乙丙，丁晴橡胶

接头

φ3，φ6，1/8"，1/4"

 


产品尺寸图

 

AST10-ALM 产品选型表

系列号 AST10-AL
产品类型 【C】质量流量控制器        【M】质量流量计
耐压范围 【M】3MPa                     【Z】10MPa
流量范围 【005C】5SCCM     【010C】10SCCM     【020C】20SCCM    【030C】30SCCM
【050C】50SCCM      【100C】100SCCM       【200C】200SCCM      【300C】300SCCM
【500C】500SCCM   【001L】1SLM        【002L】2SLM       【003L】3SLM
【005L】5SLM         【010L】10SLM       【020L】20SLM     【030L】30SLM
被测介质 详见首页密度参照表【介质要求：清洁、干燥、无油】
输入信号 【A1】0~5VDC               【A2】4~20mA
输出信号 【B1】0~5VDC               【B2】4~20mA
供电电压 【5】±15VDC                 【4】24VDC
密封材质 【V】氟橡胶    【T】三元乙丙       【N】丁晴橡胶    【Y】其他
使用接头 【A】φ3   【B】φ6    【D】1/8"   【E】1/4"     【Y】其他
选型举例 AST10-AL    M    M    500C    007    A1    B1    4    V    B

 

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